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    關于射頻電源維修的分析
    編輯:上海蕊愷電子有限公司   時間:2019-09-19

           射頻電源維修與是等離子體工業設備上的驅動源,主要用在鍍膜、等離子體清洗、CO2激光器等設備上。世界上主流品牌是AE、MKS、COMDEL等;功率有600W 1000W 2000W 3000W 5000W;射頻電源替代高頻電源的優勢是靈活的改變匹配角改變放電電壓,一套1KW的射頻電源通過匹配器修改匹配角后的輸出電壓可以達到6KV,在放電穩定后又通過自動調節匹配角降低放電電壓。
      該系統可應用于半導體工業。包括刻蝕、RIE、平行板、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等系統。
      AE射頻電源維修
      自動匹配器采用獨特的“梯度下降高速調諧算法”,這種高速調諧算法能在接近調諧點時逐漸減緩調節速度。
      射頻電源是開關電源的一種,頻率在兆赫茲以上。在美容類電源中的應用!射頻電源是等離子體配套電源,它是由射頻功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率計組成,是八十年末期在我國新興的高科技領域,應用于射頻濺射,PECVD化學氣相沉積,反應離子刻蝕等設備中.等離子體【等離子體】是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質,它是除去固、液、氣外,物質存在的第四態。等離子體是一種很好的導電體,利用經過巧妙設計的磁場可以捕捉、移動和加速等離子體。等離子體物理的發展為材料、能源、信息、環境空間,空間物理,地球物理等科學的進一步發展提新的技術和工藝??此啤吧衩亍钡牡入x子體,其實是宇宙中一種常見的物質,在太陽、恒星、閃電中都存在等離子體,它占了整個宇宙的99%?,F在人們已經掌握利用電場和磁場產生來控制等離子體。例如焊工們用高溫等離子體焊接金屬。等離子體可分為兩種:高溫和低溫等離子體。以上提到的是高溫等離子體?,F在低溫等離子體運用于多種生產領域。例如:等離子電視,嬰兒尿布表面防水涂層,增加啤酒瓶阻隔性。更重要的是在電腦芯片中的蝕刻運用,讓網絡時代成為現實。高溫等離子體只有在溫度足夠高時發生的。太陽和恒星不斷地發出這種等離子體,組成了宇宙的99%。低溫等離子體是在常溫下發生的等離子體(雖然電子的溫度很高)。低溫等離子體體可以被用于氧化、變性等表面處理或者在有機物和無機物上進行沉淀涂層處理。

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